废ITO靶材回收的核心挑战在于:
成分复杂:除In₂O₃、SnO₂外,含粘结剂、金属背板(铜/钼)等。
高纯度要求:再生铟纯度需达99.99%以上,杂质含量需严格控制在ppm级,否则影响新靶材性能。
铟锡分离:分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺:价值再造的精益之路
ITO靶材回收的必要性
1. 资源稀缺:铟为稀有金属,资源有限,价格昂贵。
2. 成本控制:回收废旧ITO靶材可降低企业原材料采购成本。
3. 环保要求:减少废弃物排放,符合绿色生产理念。
ITO靶材主流回收技术:
机械物理分离:适合较厚靶层,回收效率高。
湿法化学回收:利用酸碱进行溶解分离,适合大批量废靶材。
热处理工艺:部分回收方案采用高温分离,能耗较大。
在当今环保意识日益增强的时代,铟靶材的回收再利用成为了行业内关注的焦点。ITO靶材,作为铟锡氧化物靶材的简称,广泛应用于平板显示、太阳能电池等领域,其回收价值不言而喻。