废ITO靶材回收的核心挑战在于:
成分复杂:除In₂O₃、SnO₂外,含粘结剂、金属背板(铜/钼)等。
高纯度要求:再生铟纯度需达99.99%以上,杂质含量需严格控制在ppm级,否则影响新靶材性能。
铟锡分离:分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺:价值再造的精益之路
成熟闭环流程包括:
机械剥离:物理分离靶材与金属背板。
溶解富集:酸溶(如盐酸)将铟、锡浸出,固液分离。
铟锡深度分离:
选择性沉淀:控制pH值分步沉淀锡、铟化合物。
溶剂萃取:P507等萃取剂优先萃铟,实现铟锡分离,回收率>95%。
高纯铟制备:萃取液反萃 → 电解/置换得粗铟 → 真空蒸馏/区域熔炼 → 4N以上精铟。
再生靶材制造:精铟氧化 → 与氧化锡混合 → 成型烧结 → 新ITO靶材。
产业意义:从成本中心到价值引擎
ITO靶材的基本介绍:
主要成分:氧化铟(In2O3)和氧化锡(SnO2)
应用领域:液晶显示、OLED、太阳能电池、触摸屏等
靶材类型:新靶材、废靶材(使用后剩余靶材)
ITO靶材回收流程:
1. 收集废靶材:收集来源:面板厂、镀膜厂等使用ITO靶材的企业。
2. 表面处理/预处理 :清洗表面杂质、油污、物理去除残留膜层
3. 靶材分离:机械切割或分解、分离金属基板与ITO涂层
4. 湿法冶金回收:用酸(如硝酸、盐酸等)溶解ITO层、萃取液中回收铟和锡元素
5. 纯化与精炼 萃取、沉淀等精细化学手段,获得高纯度的铟、锡化合物
6. 再利用 提纯后的铟、锡用于制备新ITO靶材或其他用途