东莞路登电子科技:晶圆微尘摄像头模组芯片清洗治具的革新解决方案
在半导体制造与精密电子领域,晶圆微尘摄像头模组芯片的清洗工艺直接影响着产品良率与性能。随着5G、物联网及AI技术的飞速发展,摄像头模组芯片的需求激增,对清洗精度与效率的要求也达到了一定的高度。东莞路登电子科技凭借多年技术沉淀,推出全新晶圆微尘摄像头模组芯片清洗治具,以创新设计解决行业痛点,为高端制造注入新动能。
技术突破:清洗,守护芯片良率
传统清洗工艺难以彻底去除晶圆表面的纳米级微尘,这些微小颗粒在后续封装或光刻环节可能引发短路、漏电等问题,导致良率大幅下降。路登科技的清洗治具采用物理-化学协同清洗技术,通过高频兆声波与定制化化学溶液的结合,实现污染物剥离。 其核心优势包括:
纳米级精度:针对摄像头模组芯片的精细结构(如感光元件、互连线),治具可控制清洗力度,避免损伤敏感层。
全表面覆盖:旋转喷淋臂与多角度流体冲刷设计,确保晶圆边缘及沟槽区域无死角清洁。
低损伤处理:采用非接触式清洗方案,减少机械摩擦对芯片表面的影响,尤其适用于低k介质层等脆弱结构。
场景赋能:多领域应用,提升生产效能
该治具广泛适配于半导体前道制程、摄像头模组封装及CMP后清洗等环节,显著提升生产效率:
半导体制造:在光刻、刻蚀等关键工序前,彻底清除光刻胶残留与金属颗粒,确保后续工艺的套刻精度。
摄像头模组生产:针对手机、车载摄像头的高像素需求,治具可有效去除有机污染物,提升成像清晰度与稳定性。
CMP后处理:在化学机械抛光后,快速清除抛光液残留,修复表面粗糙度,为多层布线奠定基础。
客户价值:降本增效,驱动产业升级
路登科技的清洗治具已通过多家头部企业验证,其核心价值体现在:
良率提升:客户反馈显示,使用后产品良率平均提高15%-20%,大幅降低返工成本。
工艺简化:集成化设计减少设备占用空间,单次清洗时间缩短30%,助力产线提速。
国产替代:针对高端制程需求,治具性能对标国际竞品,价格更具竞争力,助力企业突破技术封锁。
未来展望:携手创新,共筑智造未来
东莞路登电子科技始终以客户需求为导向,持续迭代清洗治具技术。未来,我们将深化与半导体、消费电子等领域的合作,推出适配3nm及以下制程的解决方案,为中国高端制造保驾护航。
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